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赵 超
赵 超
职务 中国科学院微电子研究所原副总工程师
简介
赵超， 1982年获南京大学学士学位，1988年获哈尔滨工业大学硕士学位。1999年，获比利时鲁汶大学博士学位。2000-2010年，在欧洲IMEC担任资深科学家。2010年至今，在中科院微电子所任集成电路先导工艺研发中心主任，研究员，博士生导师。在IMEC工作期间，作为IMEC工业联盟项目骨干，参与了多项国际研发项目，负责高K/金属栅、铜互连、铜接触等工艺的研发，取得了具有国际影响的成果。回国后，参与领导了国家科技重大专项22纳米关键技术先导研究和平台建设项目，带领团队建成了可用于22纳米及以下技术代研发的CMOS工艺平台，并完成了22纳米MOSFETs的关键工艺研发工作，对国家科技进步做出了重要贡献。在国际学术期刊和会议上发表论文150多篇，并完成国际国内专利申请60多项。- 上一条： 张政军
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